江苏南大光电：ArF光刻胶再次通过客户认证

2021年6月1日，江苏南大光电材料股份有限公司（江苏南大光电）发布公告声称，其控股子公司宁波南大光电材料有限公司（宁波南大光电）自主研发的ArF光刻胶产品继2020年12月在一家存储芯片制造企业的50nm闪存平台上通过认证后，近日又在逻辑芯片制造企业55nm技术节点的产品上取得了认证突破。认证评估结果显示，本次认证系选择客户55nm技术节点逻辑芯片产品的工艺进行验证，宁波南大光电研发的ArF光刻胶的测试良率结果符合要求，表明其具备55nm平台后段金属布线层的工艺要求。